CVD, CVI

KFCT는 신소재 분야의 사용자 주문형 화학 기상 증착(CVD), 화학 증기 침투(CVI) 시스템을 공급합니다.

• 반도체, 태양전지 LED 분야에서 요구되는 균일한 SiC 코팅용
• 이론 밀도에 근접하는 순수 벌크 재료 제작용
• 반응성 가스와 다공성 모재를 이용한 복합체 제작용

Working Temp.:  up to 1,500℃ (depending on material)
Working Pressure: 1 ` 760 torr
Precursor Delivery System : Gas, Liquid, Solid (depending on Precursor Type)
Double-wall water cooled S.S. vacuum chamber
Vacuum Level for Initial Purge: ~1×10⁻² Torr
Hot Zone Material: Graphite with Carbon Felt Insulation
Process Control: PLC with HMI (option SCADA)
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